Вес, кг | 34 |
Вибрация, мкм | 0,01 |
Вход и выход | 200 ISO-F, 200 CF / 25 KF |
Категория | Вакуумный насос |
Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
Коэффициент сжатия водорода | 1,5x10^4 |
Модель | EMT1300M |
Назначение | Промышленный |
Напряжение, В | 240 |
Охлаждение | Воздушное / Водяное |
Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
Серия | EMT |
Скорость откачки по азоту, л/с | 1300 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 1200 |
Тип | Турбомолекулярный |
Страна | Япония |
Производитель | Ebara |