| Дополнительные функции | Встраиваемые изолирующие затворы L-VAT для анализа поверхностей и полупроводникового производства |
| Категория | Вакуумная арматура |
| Модель | 92 |
| Назначение | Промышленный |
| Страна | Швейцария |
| Производитель | VAT |
